“等至”是指修行者依于等引位的用功加行，渐渐入于定境之中，正受三昧境界，名为等至。四禅八定可归类为三种三昧：有觉有观三昧、无觉有观三昧、无觉无观三昧。一、有觉有观三昧，这是说在初禅等至位中仍对色、声、触三尘保持觉观，所以称为有觉有观三昧；由于此位中觉知心还与三尘相应的缘故，仍能领受身中的乐触，但心不为三尘所动故不生妄想；初禅有一心、觉、观、喜、乐这五种功德，称为五支功德。二、无觉有观三昧，这是指初禅与二禅的中间定，也就是二禅前的未到地定，此位中觉知心能与五尘相应而不起觉察粗心，唯有被动之观照；由于此位异于初禅之有觉有观，也异于二禅以上之无觉无观，所以另外建立为一个三昧。三、无觉无观三昧，这是指二禅及二禅以上的一切等至位中，由于心已不与五尘相应而离于五尘觉观，故名无觉无观三昧；此位中五识不现前，唯有意识安住于定境法尘中。

此外，无想定中意识已灭，定中无觉无知，非如二禅以上诸等至位中仍有意识住于定境中，是故不说无想定有等至；但是也有说无想定有等至者，这是因为此定中仍有末那安住，故名等至。因此，等至境界之正受总说有以上四种。

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等引尚未入禅三昧，等至及等持皆名入禅三昧。自古以来，多有外道将各种禅定境界错认为涅槃，也有诸多外道误将意识灭尽后所入无想定，错认为灭尽定或涅槃；今时亦有诸多佛子误会，以为打坐至一念不生、无有语言文字妄想之欲界定粗住或未到地定细住境界为无想定；然而无想定之“想”，并不是指语言妄想之“想”，而是指意识觉知心之“想”心所，也就是说只要意识有知即堕于“想”—心中有知就是有想；因此无所有处定以下，悉皆有想，亦即定境中仍有觉知心能作观察之意；甚至于非想非非想定中亦非完全无想，故名非非想。因此，若所“悟”之心，能制心一处，或住于一种境界相中而不移动，或住于一种见解而不转易者，皆是与定心所相应的心，即是意识；诸佛菩萨于圣教中皆说，意识心与定心所相应，以是即知如是能与定心所相应之觉知心即是意识心也。